真空等离子体清洗机设备

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，等离子处理机，等离子清洗机应用于材料结合或**改变材料表面属性,真空等离子清洗机能对表面精密清洗,激活,蚀刻,涂层等,适用于表面复杂件,批量及在线处理

GDR-plasma真空等离子体清洗机

一、  设备名称：等离子清洗机（低压辉光放电等离子表面处理系统）

二、   设备型号：GDR-PLASMA

等离子体清洗机设备简介

GDR系列低温等离子表面处理设备由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-40pa 的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），其显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

等离子清洗机，等离子处理机优点：

1.环保技术：等离子体清洗机的处理过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

2.广适性：等离子清洗机不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理；

3.温度低：等离子清洗机接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

4.功能强：等离子清洗机仅涉及高分子材料浅表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同时，赋予其一种或多种新的功能；

5.低成本：装置简单，易操作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

6.等离子清洗机处理全过程可控工艺：所有参数可由电脑设置和数据记录，进行工艺质量控制。

7.等离子清洗机处理物几何形状无限制：大或小，简单或复杂，部件或纺织品，均可处理。

8、等离子清洗机用于摄像头、指纹识别行业：软硬结合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁；
9、等离子清洗机用于半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗 ；
10、等离子清洗机用于硅胶、塑胶、聚合体表面粗化、刻蚀、活化。