产品名称：等离子清洗机 去胶刻蚀设备

等离子清洗机采用高密度微波等离子技术，用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理，微波等离子高度活性、高效，且不会对电子装置产生离子损害。

等离子清洗设备是半导体后道工艺中常见的表面处理设备。微波等离子清洗机在微波源的激发下产生氧等离子体，这种激发的氧等离子可以有效的去除半导体芯片在加工过程中在芯片表面残留的有机污染物，等离子清洗机适用于处理多种类型材料，包括：塑料、橡胶、金属、玻璃、陶瓷、聚合物以及几何形状各异的材料表面清洗、活化、沉积、去胶、刻蚀、接枝聚合、疏水、亲水、金属还原、去除有机物、镀膜前处理、器械**等等

等离子清洗机用于晶圆级封装前表面预处理、晶圆级键合前表面活化、光刻胶涂覆前表面活化、晶圆表面较小particle去除、表面有机残留去除等。晶圆在封装前采用等离子清洗机处理能去除表面的无机物和污染物，氧化层还原，铜表面的粗糙度提高，产品的可靠性提高。
等离子清洗机器的应用包括预处理、灰化/光致抗蚀剂/聚合物剥离、芯片碰撞、静电消除、介质蚀刻、有机污染去除、芯片减压等。使用等离子清洗机不仅能去除光致抗蚀剂和其他有机物质，而且可以活化和增厚芯片表面，提高芯片表面的润湿性，使芯片表面更有粘合力。

  1. 光学镜头
红外滤光片在镀膜前一般都要经过超声波清洗机和离心清洗机清洗，但若想要得到超洁净的基体表面，则需进一步采用等离子表面处理设备去除基体表面肉眼看不到的有机残留物，等离子表面处理设备还能对基体表面的活化和刻蚀提高镀膜品质和良率
2. 手机摄像模组
COB/COG/COF工艺制造的手机摄像模组已被大量运用到千万像素的手机，等离子表面处理设备在这些工艺制程中的作用越来越重要，滤光片、支架、电路板焊盘表面的有机污染物去除，各种材料表面的活化和粗化，进而达到改善支架与滤光片的粘接性能，提高打线的可靠性，以及手机模组的良率等目的。
3.手机外壳
等离子表面处理设备不仅可以清洗塑料、金属、玻璃以及陶瓷等材质的手机外壳表面的有机物，能很大程度的活化这些材料的外壳表面，增强其印刷、涂覆等粘接效果，使得外壳上涂层与基体之间非常牢固地连接，涂覆效果非常均匀，外观更加亮丽，并且耐磨性大大增强，长时间使用也不会出现磨漆现象。
4.手机天线
手机天线的粘接是在两种以上不同材料之间实现的，通常是在基体表面涂覆胶水再粘上FPC固化而成。当基体表面有脏污或者表面能比较低时，粘接的可靠性就得不到保证，会出现分层或开裂现象。借助等离子表面处理机清洗和活化基体表面，改善粘接性能，提高可靠性。
5.耳机听筒
耳机中振膜的厚度非常薄不容易粘接，传统的办法是采用化学处理来要提高其粘接效果，但会改变振膜的材质特性，从而影响音效。等离子表面处理设备仅仅作用于材料纳米级的表面，并不会改变振膜的材质特性，通过清洗去除有机物，活化形成亲水性基团，有效提高粘接效果。另外利用等离子清洗机处理后生产的耳机，各部件之间的粘接效果明显改善，在长时间高音测试下也不会有破音等现象发生，使用寿命也有很大的提高。
6.麦克风
麦克风按工作原理可分为动圈式、电磁式、压电式和电容式，不同的产品工艺会有所区别，但随着对粘接、邦定、封胶等工艺品质的要求越来越高，等离子表面处理设备在提升产品质量，减低报废率等方面的作用日益明显。
7.喷墨、印刷、喷码前印字前采用等离子清洗机处理提高油墨附着力，摆脱开胶烦恼
8.新能源锂电池电芯采用等离子处理设备清洗提高蓝膜粘接性能，改善极耳焊接性能
9.高分子塑胶表面采用等离子清洗机表面活化提升材料粘接力
10.等离子清洗机处理汽车保险杠、密封条提高表面浸润性能，提高漆层附着力及流平速度，降低低橘皮效应
11.等离子处理设备对玻璃表面有机物清洗，提高浸润性能，提升后续镀膜层附着力