等离子清洗机，活化刻蚀，接枝与聚合作用

等离子表面活化清洗设备作为一种干式清洗方式，有着湿法清洗无法比拟的优点，等离子清洗机在清洁材料表面的同时，还能对材料表面进行活化，有利于材料进行下一道的涂覆粘接等工艺。

等离子清洗机，表面活化刻蚀，接枝与聚合作用

（1）表面清洗

材料表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在粘合、焊接前，需要用等离子清洗机来处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。适用于金属、玻璃、陶瓷灯多种材料。

（2）表面活化

塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）等一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。在惰性材料表面生成活性基团，增强表面极性，提高表面能。等离子清洗机的处理与灼烧处理相比，不会损害样品，同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，盲孔和带缝隙的样品也可以处理。

（3）等离子清洗机的表面刻蚀作用

在等离子清洗机的刻蚀过程中，通过处**体的作用，被刻蚀物会变成气化物（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处**体和基体气化物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处**体覆盖。无需刻蚀部分应使用相应材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料。）

4）等离子清洗机的表面接枝与聚合作用

等离子体清洗机表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时，采用等离子体清洗机的接枝的方法来改善。等离子体清洗机的接枝的原理为：先利用等离子清洗机的表面活化作用在材料表面产生新的活性基团，利用此基团与后续的活性物质产生化学共价键结合，后续的活性物质中带有能够满足应用的特定基团，以达到既能满足表面特性又能牢固结合的目的。