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PDMS微流体系统等离子体清洗机处理

日期：2024-11-28 15:36
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摘要： 微流体系统领域是PDMS中常见的一种应用，它是根据用户要求将指定的硅氧烷结构化，用等离子体清洗机处理，能将PDMS晶片，硅片或其它基材长久地涂覆于该晶片上。

 微流体系统领域是PDMS中常见的一种应用，它是根据用户要求将指定的硅氧烷结构化，用等离子体清洗机处理，能将PDMS晶片，硅片或其它基材长久地涂覆于该晶片上。


等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机，等离子体清洗机，刻蚀表面改性
等离子清洗机有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，Plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。


通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂，等离子体清洗机，刻蚀表面改性


等离子清洗机对晶圆表面预处理增加表面亲水分子团,提高表面能量，促进粘附性

利用等离子清洗机来进行微流控PDMS芯片的等离子体键合，使用等离子清洗机能改变玻璃和PDMS的表面性质。等离子体清洗机的处理会改变玻璃和PDMS芯片表面的化学性质并允许把带有微通道的PDMS粘接到其他基底上如(PDMS或玻璃)。

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