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等离子设备半导体行业应用

日期：2024-11-28 13:45
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摘要：在光刻胶灰化、晶圆减薄和应力去除、打线前的bond pad清洁、封胶前的活化等应用中应用的微波等离子清洗机对硅、三五族化合物、铌酸锂等半导体材料进行处理。微波等离子体清洗机特别适合于处理对静电敏感的器件
在光刻胶灰化、晶圆减薄和应力去除、打线前的bond pad清洁、封胶前的活化等应用中应用的微波等离子清洗机对硅、三五族化合物、铌酸锂等半导体材料进行处理。微波等离子体清洗机特别适合于处理对静电敏感的器件
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