气体检测仪器

德国德尔格 Polytron 3500 气体检测仪器产品优势

半导体工业的气体监测专家：德国德尔格 Polytron 3500 气体检测仪器基于裂解原理，用于连续监测环境中的毒气如NF3，和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500变送器集所有必要功能位一体，如气体采样，处理和分析。

选择性监测

选择合适的热解炉内部温度和合适的传感器，可对三氟化氮 NF3 或 氟化/氯化有机化合物（如 C4F6、C5F8 和其它 PFC）进行选择性监测。

使用方便

德国德尔格 Polytron 3500 气体检测仪器热解器基本无需操作上的设置或调整。 4 至 20 mA 输出信号外加特殊状态信号可直接连至另一系统做进一步信号处理。

安装快速而简单

分体式设计理念——由安装基座和变送器主机构成，可以节省时间和成本。基座可以预先安装。 设备试运转时，主机可通过插锁方式与基座连接，预热过后即可投入运行。

测量结果可靠