MetOne3411便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。
MetOne3411便携式空气颗粒计数器具有 ISO 21501 数据的准确性和再现性,是业内推广使用的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
选择MetOne3411便携式空气颗粒计数器的优势所在 • 可让您的洁净室保持洁净 0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染 • 热插拔电池-***确保仪器长时间连续运行 由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机 • 测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证 可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误 • 顺序采样系统 可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。 • 灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便 供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作 • 直观的用户界面 简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划! • 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性 专用于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。
MetOne3411便携式空气颗粒计数器的产品参数
MetOne3411便携式空气颗粒计数器的应用领域
专应用于半导体行业的空气颗粒计数: • 洁净室验证监测 • 洁净室的分级 • ISO14644洁净室验证 • 洁净室颗粒物监测 • 生产过程的连续监测 • 颗粒污染源的排除过程 • HEPA过滤器检漏,粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um • 过滤器扫描 • 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体,流量会自动调整 空气颗粒计数器生命科学标准及委员会: • 国际标准化组织 (ISO) • ISO14644洁净室及相关受控环境 • ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器 • 环境科学与技术研究所 (IEST)