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Seiko Seiki STP-301精工精机分子泵维修,Seiko Seiki STP-301/STP-301C日本精工精机分子泵进气法兰口ICF152/VG100/ISO100,出气法兰口KF25,抽速可达到300L/s,转速为48000rpm,VG/ISO法兰口极限压力6.5 x 10-6Pa (5 x 10-8Torr),ICF法兰口极限压力10-7Pa (10-9Torr)
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