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美国porter热式高压气体质量流量计设计特点 · 热式原理 · 一体化设计 · 满量程从 5SCCM 到 1000SLPM · 响应时间不超过 2 秒钟 · 操作压力可达 20.7MPa · 对安装位置不敏感 · 316SS 材质，允许测量腐蚀性气体 · 无直管段安装要求 · 单电源供电 美国porter热式高压气体质量流量计技术参数 流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一 响应时间 ： 1 ～ 2 秒 精 度 ： ± 1% 满量程（除 204A 型） ---------± 1± 1.5%.满量程（ 204A 型） 重 复 性 ： ± 0.2% 满量程 量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程） 环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃ *大操作压力 ： 3000PSIG （ 20.7MPa ），具体请参考资料
零点漂移： ± 0.05 % 满量程 / ℃ 范围漂移 ： ± 0.05 % 读数 / ℃ 压力漂移 ： 0.1%/atm （相对于 N 2 ） 安装方向 ： 对位置不敏感 预热时间 ： 10 分钟 电气连接 ： 卡式 （ 20 针）或 D 型（ 9 针） 设定点输入流量信号输出 ：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA
供应电源 ： 电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC 电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC 电流消耗：＜ 250mAdc 重 量 ：请参考表一
美国porter热式高压气体质量流量计结构材质
主体： 316SS 传感器组件 ： 316LSS 孔： 316SS 阀构成部件 （接液）： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型） 密封材质（” O ”型环和阀座）： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton（ 202A 、 203A 和 204A 型） 过程连接： 316SS
美国porter热式高压气体质量流量计选型表
型号
流量范围
*小/*大 N2
*大操作压力
PSIG(MPa)
重量
Ibs(Kg)
111
0-5SCCM/0-10SLPM
1500(10.3)
0.9(0.41)
112
0-10SLPM/0-100SLPM
2.1(0.95)
113
0-100SLPM/0-500SLPM
5.2（2.4）
114
0-500SLPM/0-1000SLPM
6.6（3.0）
121
3000 (20.7)
0.9（0.41）
122
3000(20.7)
2.1（0.95）
123
10.8（4.9）