产品应用
真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化 煤炭冶金 制气配气 环保 各种分析仪器
技术参数
技术指标: Dmass气体质量流量控制器Dmass质量流量计 量程范围: 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM 测控范围: 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1 准 确 度: 流量：±1%读数±0.2%满量程 压力：0.5%F.S 温度：±1℃ 线性±0.5%F.S 重复精度: ±0.2%F.S 响应时间: 100ms 10ms 模 拟 量: 0～5V、4～20mA、1～5V 供 电: 24V/±15V可选 工作温度: 0～50℃ 工作压力: 工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa *大耐压: 3MPa 电气连接: DB15孔 漏 率: 1×10-9SCCSHe 温度系数: ±0.015%F.S/℃ 底座材质: 铝合金或316L不锈钢 密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶 金属密封 接 头: VCR1/4;swagelokφ6