ST-21方阻仪,ST-21四探针测试仪
ST-21方阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准,专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器,可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜),金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。 该仪器以大规模集成电路为主要核心;用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源;带回路有效正常指示电路;并配以大型LCD显示读数,使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。 ST-21方阻测试仪特点: 1,采用大规模集成电路作为仪器的主要部分,测量准确稳定,低功耗; 2,以大屏幕LCD显示读数,直观清晰; 3,采用单个电池供电,带电池欠压指示; 4,体积≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g; 5,特制之手握式探笔,球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜 6,探头带抗静电模块
ST-21方阻仪,ST-21四探针测试仪技术参数
测量范围 按方块电阻量值大小分为二个量程档: 1.方块电阻 1.00~199.99Ω/□; 2.方块电阻 10.0~1999.9Ω/□; *小分辨率:0.01Ω/□ 恒流源 测量过程误差:≤±0.8% 模数转换器 量程:0~199.99mv; 分辨率:10μv; 方式:LCD大屏幕显示;极性,超量程均自动显示;小数点同步显示; 测量不确定度 在整个量程范围内,测量不确定度≤5% 四探针探头规格 间距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;绝缘电阻≥500MΩ 电源 9V叠层电池1节
ST-21方阻仪,ST-21四探针测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格:
型号 (Model)
曲率半径 (Radius)
压力 (loads)
探针间距 (spacing)
探针排列 (Arrangement)
HP-501
0.5mm
100g
3.8mm
直线
HP-502
0.75mm
���线
HP-503
0.1mm
150g
1mm
HP-504
1.59mm
ST-21方阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格:
SP-601型方形四探针探头是一种专门测量半导体薄层电阻(面电阻)的方块电阻测试仪配用的方型四探针测试探头,专用于测量小样品的四探针探头,可用于一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜),金属薄膜……等同类物质的薄层电阻 1,特制之手握式探笔 2,球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜不被损伤 3,探头带抗静电模块有效防止方块电阻测试仪采集数据集成模块烧坏 4,探头使用寿命长 5,探针间距:1.59mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;绝缘电阻≥500MΩ
SP-601
方形
粤公网安备 44030402001250号