技术参数
型号
工作距离及水平观测区域
样品台移动
样品尺寸
FTA125
75mm/4m2或8m2
手动X-Y轴,Z轴可调。125mm光学成像距
125×125×25mm,如需要可适当扩大“125”
FTA135
75mm/8m2
手动旋转,手动Z轴调节
300mm直径晶片或400×400mm片
FTA136
75mm/12m2
适合置于透明样品
任意
FTA137
适合置于非透明样品
FTA188
65mm/5mm
高品质固定镜头
手动44×44×25mm粗调平台,旋转或其他平台可选配
150×150×25mm
FTA200
93mm/8-1.4mm
FTA2000
175mm/8-1.4mm
150半径,360度可调,25mm的Z轴自动调节
300mm直径晶片
FTA4000
35mm/1.7-26mm
25×25×25mm自动可调
25×25×25mm