一种择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法技术
本发明砖利技术公开了一种择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法，其步骤包括清洗衬底；制备硫化锌缓冲薄膜；制备(222)择优取向的ITO薄膜。本发明砖利技术采用磁控溅射技术，在洁净的玻璃基底上先沉积一层ZnS薄膜，通过控制玻璃基底温度得到具有(111)择优取向的ZnS；然后再通过控制制备工艺沉积ITO，即可得到具有(222)择优取向的ITO薄膜。本发明砖利技术的择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法，通过增加ZnS缓冲层，获得具有(222)择优取向的ITO薄膜，提高ITO的光电性能。
Method for preparing ITO transparent conductive film with preferential growth
The invention discloses a method for preparing a ITO transparent conductive film with preferential growth. The method comprises the steps of cleaning the substrate, preparing the zinc sulfide buffer film, and preparing (222) the ITO film with preferred orientation. The invention adopts magnetron sputtering on the clean glass, depositing a layer of ZnS film by controlling the temperature of a glass substrate (111) preferred orientation of ZnS; and then by controlling the preparation process of the deposition of ITO, can be obtained with (222) preferred orientation of ITO thin films. The invention provides a method for preparing a preferred growth ITO transparent conductive film, which is characterized in that a ITO film with (222) preferred orientation is obtained by increasing the ZnS buffer layer, and the photoelectric performance of the ITO is improved.
【技术实现步骤摘要】
本砖利技术涉及一种择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法，属于太阳能电池领域。
技术介绍
太阳能电池是一种基于半导体pn结吸收太阳光转变成电能的光伏器件，其太阳光吸收层材料主要包括晶体硅和化合物薄膜如碲化镉、铜铟镓硒、氧化亚铜等。在晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池结构中，透明导电氧化物薄膜都起到重要作用，一是作为电极收集光生载流子，二是作为透光层使得太阳光透过该层到达吸收层；除了上述作用外，透明导电氧化物薄膜还可以用作红外反射材料；透明导电氧化物薄膜还在发光二极管上有广泛应用。常见的透明导电氧化物薄膜包括ITO、AZO和FTO，其中ITO的光电性能*好，在可将光区的光学透过率达到90％。直流磁控溅射技术作为一种高速沉积的薄膜制备方法，制备出来的薄膜样品致密度高、沉积速度快，薄膜性能稳定，工艺参数可控性高，适合于工业化生产。
技术实现思路
本砖利技术所要解决的技术问题是：采用磁控溅射技术制备的ITO透明导电薄膜为单相多晶结构，主要包括(211)(222)(400)(440)(622)等晶粒结构，本砖利技术通过增加一层ZnS缓冲层材料，可制备出具有(222)择优取向的ITO透明导电薄膜，从而提高ITO透明导电薄膜的光电性能。本砖利技术的技术方案如下：一种择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1：清洗衬底；步骤2：制备硫化锌缓冲薄膜；步骤3：制备(222)择优取向的ITO薄膜。...
【技术保护点】
一种择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1：清洗衬底；步骤2：制备硫化锌缓冲薄膜；步骤3：制备(222)择优取向的ITO薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：清洗衬底；
步骤2：制备硫化锌缓冲薄膜；
步骤3：制备(222)择优取向的ITO薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法，其特征
在于：所述步骤1包括如下步骤：
步骤1-1：切割石英玻璃；
步骤1-2：将切割好的石英玻璃在玻璃清洗剂中浸泡；
步骤1-3：经玻璃清洗剂浸泡后的石英玻璃使用纯水超声清洗；
步骤1-4：将纯水超声清洗后的石英玻璃用高纯氮气吹干，然后放入真空腔
内。
3.根据权利要求1所述的一种择优生长ITO透明导电薄膜的制备方法，其特征
在于：所述步骤2包括如下步骤：
步骤2-1：腔体抽真空，使得背景真空达到1×10-4Pa；
步骤2-2：在1×10-4Pa的真空下，石英玻璃衬底加热，温度为室温～300℃；
步骤2-3：通入高纯氩气，对ZnS靶进行磁控溅射，以去除靶材表面的氧化
物；
步骤2-4：控制氩气流量范围5～20sccm，使得腔体真空度维持在0.3～10Pa；
步骤2-5：在氩气气氛下，使用预溅射处理的硫化锌靶在石英玻璃衬底上进
行射频磁控溅射，沉积硫化锌薄膜。
4.根据权利...
【砖利技术属性】
技术研发人员：杜文汉，杨景景，刘珂琴，张燕，赵宇，熊超，
上海卷柔新技术光电有限公司是一家专业研发生产光学仪器及其零配件 的高科技企业，公司成立２００５年，专业的光电镀膜公司，公司产品主要涉及光学仪器及其零配件的研发和加工；光学透镜、反射镜、棱镜等光学镀膜产品的开发和生产，为全球客户提供上等的产品和服务。
采用德国薄膜制备工艺，形成了一套具有严格工艺标准的闭环式流程技术制备体系，能够制备各种超高性能光学薄膜，包括红外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特种薄膜、紫外薄膜、x射线薄膜，应用领域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、医用激光器、红外制导、面部识别、VR/AR应用,博物馆，低反射橱窗玻璃，画框等。
