XD-303半导体气体检测仪特点： 采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。 高检测灵敏度。 能检测很多种类的半导体特气。 液晶数字显示。 规格 型 号 XD-303AH XD-303PH XD-303BH XD-303 检测对象气体 砷 烷 ( A S H 3 ) ,磷 烷 ( PH 3 ) ,乙硼烷 ( B 2 H 6 ) 其它 检 测 范 围 :0 ～ 1ppm ,0 ～ 0.2ppm 0 ～ 1ppm ,0 ～ 0.3ppm 0 ～ 1ppm 因规格而异 * 小 刻 度 :0.1ppm,0.01ppm 0.1ppm,0.01ppm 0.1ppm 采 样 方 式:自动吸引式 应 答 速 度 :60%应答40秒