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产品资料

半导体特气检漏仪

半导体特气检漏仪
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：半导体特气检漏仪
  • 产品型号：XP-703D
  • 产品展商：日本新宇宙
  • 产品价格：0.00 元
  • 折扣价格：0.00 元
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
半导体特气检漏仪XP-703D产品简介： 用于半导体材料气体的超微量泄漏检测通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏
产品描述
半导体特气检漏仪XP-703D产品简介：
用于半导体材料气体的超微量泄漏检测通过报警灯及蜂鸣器即可得知气体泄漏

*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
专线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）
砷烷　　磷烷　　乙硼烷　　硅烷　　氢气
AsH3　　　PH3　　　B2H6　　　SiH4　　H2
0.2　　　0.3　　　0.1　　　0.5　　1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
专线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）
砷烷　　磷烷　　乙硼烷　　硅烷　　氢气
AsH3　　　PH3　　　B2H6　　　SiH4　　H2
0.2　　　0.3　　　0.1　　　0.5　　1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
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