日本HORIBA气体质量流量控制器工作原理

日本HORIBA气体质量流量控制器工作原理

质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和 PID 控制电路就构成了质量流量控制器。

流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比，满量程(F.S.)流量检测输出电压为+5V。质量流量控制器(流量计)的流量控制范围是(2～100)%F.S.（量程比为 50:1）,流量分辨率是 0.1%F.S.。

控制操作一般在 MT-52 系列流量显示仪上进行。当 INT/EXT 开关拨到“INT（内控）”时，由流量显示仪上的设定电位器控制流量。当拨到“EXT（外控）” 时，由用户提供的外部 0V～+5V 电压控制流量。

在 MT-52 的显示面板上设置有阀控按键，当置于“Run（阀控）”时，则按设定电位器的数值自动控制流量，当置“Close（关闭）”位时，阀门关闭；当置“Open（清洗）”位时，阀门开到*大，以便气路清洗，或作为流量计使用。在做流量计使用时，流量检测电压的输出值*大可能达到+10V 以上，不过要注意，当流量超过满量程（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但不会对流量计本身造成损伤。（参考流量显示仪的使用说明书）