德国NUMERIK JENA光栅尺 LIA20
产品简介
德国NUMERIK JENA光栅尺:由读头与尺带组合,用于位置量测.读头分辨率:1um、0.5um、0.1um、0.05um.尺带精度:±5um/m、±1um/m应用:金属加工设备 半导体设备 半导体生产与检测设备 线性马达与其他线性机构 测量机
产品详细信息
产品规格
光栅尺:由读头与尺带组合,用于位置量测量.
读头分辨率:1um、0.5um、0.1um、0.05um.
尺带精度:±5um/m、±1um/m
读头
●双读数窗口,读头/接头内建分割器
●分割系数:×5(分辨率1μm)、×10(分辨率0.5μm)、×50(分辨率0.1μm)、×100(分辨率0.05μm)
尺带
●材料:不锈钢带,热膨系数(10.5*10^-6℃^-1)
●光栅周期 20μm
●背面自粘性胶带将尺带固定于机台上
依应用需求,提供两种尺带:
SINGL EFLEX 尺带
尺带受机台影响,热胀冷缩,适用于:
●机台与尺带接触面的热膨胀系数接近11*10^-6℃^-1
●一般精度需求
DOUBLEFLEX 尺带
尺带不因机台冷缩热胀而拉伸或挤压,热膨胀系数固定为10.5*10^-6 ℃^-1,与机台材质无关,适用于:
●机台与尺带接触面的热膨胀系数远异于 11*10^-6 ℃^-1
●高精度需求
DOUBLEFLEX 的主要特色
DOUBLEFLEX有两条钢带,其中一条为量测钢带具有光栅,另一条则为承载钢带,两条钢带间有一连结层,用来阻绝张力的转移,隔绝机台对量测钢带的影响:
1) DOUBLEFLEX尺带在操作中没有热诱导应力,温度变化极大或者与机械部件的膨胀系数有很大偏差时,仍可自由缩胀,不受机台热应力影响; |
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2) DOUBLEFLEX尺带在安装时没有机械诱导应力,尺带分散应力所以维持了量测钢带刻度的高精度; |
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3)相对于常规尺带和简单的钢尺带,安装好的DOUBLEFLEX尺带可弯曲的误差成分明显减少,所以有更高的精度 |
产品优点
●高达100倍信号分割功能,内建于读头或接头上
●*高速度: 10 m/s
●*高精度: ± 1μm
●DOUBLEFLEX尺带 之热膨胀系数固定
●相对于解析度而言, 具有较大的安装公差
●安装需求空间极小
●双侦测单元, 大幅提高抗污染能力
●电子信号调整功能
●使用自粘胶带,安装简易
主要市场
金属加工设备 半导体设备 半导体生产与检测设备 线性马达与其他线性机构 测量机
其他规格产品举例:LIE51PM7KA、MV51-40NP、LIK21、LIK41、LIA22等
抗污染能力强: JENA具有独特的Dynamic offset and amplitude control技术,可以将粉尘/水/油污等污染对于光栅尺信号的影响降到*小。 下图表明JENA抗油污的能力:
安装方便简单: 导轨安装示意图:
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