KTF1100℃シリーズ・3ゾーンタイプのヒータは円筒型を採用し、熱ロスの低減を図った管状炉です。ヒータは、それぞれのゾーンを個別に制御することで均熱性の精度を向上さた管状炉です。
※モルダサームヒータ…セラミックファイバーと波形発熱体(LGO)を当社独自の真空成型法で一体化させた断熱材付きの当社製造ヒータです。モルダサームヒータは当社製造の生産用半導体装置や金属熱処理装置のヒータとしても使用されています。
(注1) 加熱室内制御点での値を示す。空炉・チューブなし。(注2)チューブ（炉芯管）装着時の加熱室内制御点での値を示す。(注3) 制御点と温度分布測定点温度にはずれがあります。記載精度は温度設定をずらせた場合のものです。☆*高使用温度はオプション装備・使用条件により異なります。☆熱電対は消耗品です。