超低温用冷却器

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超低温用冷却器

UC-70

氟作为专用热媒、超低温度较宽温度范围使用。

主要用途

蚀刻装置等的冷却 

 

主要特点

氟作为专用热媒、超低温度较宽温度范围使用

使用温度范围- 60℃～+ 60℃，超低温下冷却性能也很稳定。由于氟作为热媒，循环液罐是密闭式的。

无液漏之忧的泵，通过逆变器进行控制

使用了磁铁耦合型密封泵，无液体泄漏。

技术参数

型号	UC-70
使用温度范围	-60℃～+60℃(*1)
温度调节精度	加热器PID控制、±0.5℃以内(*2)
冷却能力	循環液温-30℃：1.15kW 循環液温-50℃：0.7kW(*3)
冷冻机(水冷式)功率	1.5kW
泵能力	排水圧力［MPa］：≤0.55 流量［L/min］：6/11 功率输出［kW］：0.75(*4)
功率输出	2.4kW
安全器/安全功能	漏电断路器、罐内液面低下、循环液高温、热敏继电器(冷冻机・泵)、冷媒高压・低压压力、循环流量低下、温度传感器异常检测、以防止触电、紧急停止开关
警报功能	循环液补充、循环液温异常(高温、低温、温度偏差)、泵压力偏差(*5)
输入/输出功能	远程信号输入、液温度设定信号输入、紧急停止信号输入、装置运转信号输出、装置异常信号输出、液温度监视器输出
适用热媒体(循环液)	GALDEN HT110
循环液罐容量	約2.5L(＋备用罐：約9.2L)
所要一次冷却水量	冷却水温度+20℃：11L/min 冷却水温度+30℃：23L/min(*6)
配管连接口径(循环液出入口、一次冷却水出入口)	Rc1/2(阀装备)、Rc1/2
外形尺寸	553×850×1281Hmm
重量	約235kg
电源	三相AC200V・50/60Hz・30A(*7)
运转电流［A］(50/60Hz)	19/21
标配附件	D辅助连接器×1(*8)、电源线(4m)、泄水接水装置

(*1)温度(-60℃)无负荷情况下。

(*2)循环流量6L/min以上的运转。
(*3)冷却能力根据循环流量变化，请注意。
(*4)排水圧力的运转周波数75Hz时，循环流量应设定为0.15MPa。
(*5)警报功能启动时，装置也会继续运行。
(*6)所要冷却水不能正常供应，是冷却能力下降和问题发生的原因。
(*7)本产品是根据不同地域的50Hz和60Hz做调整之后出货。在询问的时候，请先确认。在购买后地域移动需重新调整。
(*8)连接连接器用的信号线不标配。
●本产品使用环境温度范围+5℃～+35℃。
●本机为大型、重量机器，运送、安装等费用需另付。

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