ULVAC罗茨型真空泵
罗茨型真空泵
MBS系列（一段式）MBS-030/MBS-050
型 号
排气速度*1
极限压力
电源
重量
吸气管*2
*大尺寸
推荐辅助泵
单位
m3/h
Pa
-
kg
mm
MBS-030
30
4.0×10-2
1φ100V/200V
14.0
VG-25VF-25
172.0×488.0×145.0
GLD-136C
36
MBS-050
50
16.0
VG-40VF-40
175.0×518.0×160.0
GLD-201B
60
*1 :
排气速度:上栏为50Hz时的实际排气速度,下栏为60Hz时的实际排气速度。
*2 :
吸气管的表示方法为,外径X内径(内螺纹尺寸),或者为法兰尺寸