ULVAC有机膜蒸发实验装置

ELORA-200(电极膜用)

极限压力

4.0 X10^-4(未使用液氨时)

真空室

供给连接系统预留16个接口+钟罩

基板电极

２点切换式

蒸发电源

AC10V-150A、1.5kW・　１式（仿真表示）

膜厚监测器

水晶振动式膜厚控制器 CRTM-6000

真空泵

皮拉尼真空计GP-1S、电离真空计GI-TL3

排气系统

涡轮分子泵
300L/s（UTM-300)
油旋片真空泵
200L/min（GLD-201A）

本体尺寸
(mm)

530�(长)×480(宽)×1180(高）

重量

80kg(主机)

电力

1φ 100V0.8kVA、
3φ 200V 1.2kVA、
1φ 200V 2.0kVA

选购件

改变电极构成、温度监测器(基板、蒸发盘)、改变真空计、挡板、改变排气系统真空泵(涡旋型干泵、油扩散泵、低温泵)、其它

ELORA-500(蒸发室+准备室)

极限压力

4.0 X10^-4(未使用液氨时)

真空室

真空室 带准备室的2室、带水平传送机构

基板电极

电阻加热式蒸发源、标准8点(有机膜6点、金属膜2点)
T/S间距离、250-300mm

蒸发电源

有机膜用:DC400W、2个
金属膜用:AC1、5KW、1个

真空泵

蒸发室:电离真空计 GI-TL3、皮拉尼真空计GP-1S
准备室:涡旋型干式泵90L/min

排气系统

蒸发室:TMP(600L/s)+涡旋型干式真空泵250L/min
准备室:涡旋型干式真空90L/min

本体尺寸
(mm)

1620(长)×650(宽)×1550(高）
(控制盘)

重量

400kg(本体)、150Kg(控制盘)

电力

1φ 100V、3kVA、
3φ 200V 、3kVA、(50/60Hz)

特别规格

蒸发室(有机膜、金属膜分分割):真空3室(蒸发室2室+准备室)、基板、蒸发盘的温度测定器、追加基板收纳器、气体导入、真空排气系统变更、可动面罩、其它