传感器单元SW1-N1/SW1-N2 本真空计属皮拉尼真空计,可测量的压力范围从大气压至5×10-2Pa。本真空计从控制面板上去除了操作及显示部分,只保留了必要的功能,从而降低了价格,使外形更小巧,而且已通过CE认证。用途可用于半导体、电子原件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理;可用于真空炉为首的各种产业机器的低真空领域的过程管理;可用于连续性、多样性工作室的各种制造设备的低真空领域的过程管理。特长可测量范围广:从大气压至5×10-2Pa传感器与控制部一体化:节省空间、降低能耗