纳米表面测量

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北京德华振峡科技有限公司
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	纳米表面测量仪 MicroProf / MicroGlider	德国FRT测量系统应用于所有类型的表面测量分析。纳米表面测量仪采用一个或多个传感器高精密测量轮廓特征，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光学白光色差传感器进行非接触无损伤测量，工作距离大，快速输出2D或3D测量数据。适合研发和质控领域应用范围：半导体晶片加工检测；钠米刻蚀和操作；MEMS；IC封装；汽车制造系统；复合材料分析；生物分析磨擦分析；薄膜厚度测量，微细结构分析等。

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