德国FRT公司三维轮廓纳米测量仪粗糙度平面度翘曲度

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原子力显微镜 | 白光干涉仪 | 纳米表面测量 | 膜厚测量仪 | 三维轮廓仪

产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	纳米表面测量仪 MicroProf / MicroGlider	德国FRT测量系统应用于所有类型的表面测量分析。纳米表面测量仪采用一个或多个传感器高精密测量轮廓特征，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光学白光色差传感器进行非接触无损伤测量，工作距离大，快速输出2D或3D测量数据。适合研发和质控领域应用范围：半导体晶片加工检测；钠米刻蚀和操作；MEMS；IC封装；汽车制造系统；复合材料分析；生物分析磨擦分析；薄膜厚度测量，微细结构分析等。
	原子力显微镜 AFM	原子力显微镜 AFM 是利用测量探针与样品之间的作用力，进行纳米级的*高精度扫描分析。除了表面形貌还可以采用不同的测量模式分析材料的其他特性。扫描范围从20um×20um到80um×80um。可应用于半导体行业、汽车制造、皮革工业、造纸工业、生物学、聚合物、MEMS等我们的客户名单上有众多的世界有名企业。
	白光干涉仪 FRT WLI	白光干涉仪采用白光干涉测量传感器，其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数：测量原理:白光干涉测量；测量物镜10X 20X 50X垂直测量范围：100um(400um可选)垂直分辨率 0.1nm；X,Y测量范围:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm；工作距离：3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪
	厚度测量仪 MicroProf TTV	德国FRT公司生产的MicroProf TTV 厚度测量系统，厚度测量仪除对厚度进行测量外，还可以进行2D/3D轮廓测量、粗糙度等测量；广泛应用于半导体晶片、光学零件、金属薄片厚度检测等等
	FRT薄膜厚度测量仪 MicroProf FTR	FRT薄膜厚度测量仪采用膜层厚度测量传感器，非接触测量表面膜层，测量范围从10nm--250um，广泛应用于半导体晶片、光学镀膜加工、漆膜、氧化表面层测量。
	FRT三维轮廓测量仪 FRT MicroSpy Topo	该型号是FRT公司*近更新的产品，FRT三维轮廓测量仪在原有 TG/CF型号型号上，测量功能更加强大。除了用于测量零件外形轮廓的几何尺寸(点线，角度等)；共面性、平面度、平行度等；还可以测量表面粗糙度. 其特点是采用非接触无损测量，有效保护零件的表面；提供完整的2D和3D图；工作距离大，能够对精密汽车零部件、冲压注塑模型腔及其它零件进行快速准确的测量（如测直斜齿轮的模数、齿形角、尖角等）。

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