纳米团簇沉积设备仕嘉科技发展有限公司

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产品名称：纳米团簇沉积设备
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产品展商：其他品牌
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简单介绍

1.小至30个原子大至半径15nm 2.均匀、高能流密度离子束(0~1keV)

产品描述

MANTIS UHV Deposition Components & Systems

英国Mantis公司为一生产高品质沉积设备与部件的高科技公司，主要有：纳米沉积源与设备；RF原子或离子源；迷你型电子束蒸发台。纳米沉积设备可制备常规镀膜设备无法实现的纳米尺寸薄膜；迷你电子束蒸发台、K-cells、热气切割与小离子或原子源可用于MBE、表面科学与PVD的极小尺度研究。

NanoGen50纳米团簇源使用独特的高压溅射源可在指定区域沉积纳米颗粒(小至30个原子大至半径15nm)，具有多区域定向、软着陆、动能碰撞、化合物纳米团簇等特点。

MesoQ体积过滤器可与NanoGen50联用分析或深度过滤纳米颗粒束。

NanoSys 500纳米团簇沉积设备由主沉积室、样品进口、机械手、真空抽取、沉积监视等组成。

Mini E-beam Evaporator小型电子束蒸发台可进行难熔金属或高温陶瓷薄膜沉积。

RF离子源用于碰撞动能生长薄膜或蚀刻薄膜，沉积源提供一均匀、高能流密度离子束(0~1keV)。

原子氧、氮源
RF原子源可产生原子氧或氮用于生长氧化物或氮化物薄膜

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