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  • 产品名称： SEC-8000 系列高温应用质量流量控制器

  • 产品型号：
  • 产品厂商：日本HORIBA
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简单介绍：
高温应用质量流量控制器 SEC-8000 系列 耐温150℃，*大流量1050SLM， 概要 SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀场/厚礼博品牌的特殊产品, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之上等别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。
详情介绍：
高温应用质量流量控制器 SEC-8000 系列
 
耐温150℃，*大流量1050SLM，

概要

        SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀场/厚礼博品牌的特殊产品, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之上等别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。

特征

·         适用于高温：可满足150℃烘焙
·         具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度：±1.0% 设定流量.
·         超快速响应
·         超洁净处理
·         满足RoHS 环境标准
 

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
  • 适用于高温：可满足150℃烘焙
  • 产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
  • 超清洁类型：接气部全不锈钢构造
  • *适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
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