产品名称：S600低成本数字式质量流量控制器

 低成本数字式质量流量控制器S600

多种通讯：模拟输出、数字通讯：RS485通讯或者Profibus。
电源选择：DC24V、±15V ;
密封方式：橡胶密封、金属密封
  
    S600热式质量流量控制器用于高性价比，是horiba厚礼博的明星产品。流量范围10sccm-200SLM。

能够在较大的量程范围内在线实时地控制气流质量流量。利用气流流过不锈钢毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温
差方法，而测得气体质量流量；不同于测压力或测体积方法等类别流量计，其流
量精度不受气体压力、环境温度影响。上下游温差测量电路信号实时反映气流瞬
时流量，并通过PID电路实时控制比例电磁阀控制流量，所以特别适用于过
程控制中在线实时的气体流量的测量和控制。

☆具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。

☆阀体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
线路板、阀体、弹**、精密电阻和电容等为重要零部件，均执行严格的入厂标准。
☆可任意角度安装。
☆电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。
配合MT-50系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行测量和计量。