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  • 产品名称：大流量液体汽化控制系统 LE系列

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  • 产品厂商：日本HORIBA
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简单介绍：
流量液体源汽化控制系统 LE系列 载气，直接注入型 概要 Horiba 汽化器LE系列属于直接注入型液体汽化控制系统，基于合理的内部结构设计，和高效热传导材料的使用，LE可实现高效、大流量的液体汽化，可防治液体凝结。操作温度上限可达300℃，IPA汽化量可达30g/min（或等量）。*常见的使用有在太阳能电池制程中，可以用LE实现TMA气化工艺。在PV的制程中，可以用LE实现OMCTS的气化工艺。
详情介绍：

商品详情

大流量液体源汽化控制系统 LE系列

载气，直接注入型

概要

      Horiba 汽化器LE系列属于直接注入型液体汽化控制系统，基于合理的内部结构设计，和高效热传导材料的使用，LE可实现高效、大流量的液体汽化，可防治液体凝结。操作温度上限可达300℃，IPA汽化量可达30g/min（或等量）。*常见的使用有在太阳能电池制程中，可以用LE实现TMA气化工艺。在PV的制程中，可以用LE实现OMCTS的气化工艺。

特征

  • *大汽化率
  • *新的喷射器嘴确保持续不断稳定汽化
  • 全不锈钢设计，*大程度的避免腐蚀及减少颗粒物生产
  • 支持多种液体源汽化

規格

规格参数

 
已应用液体源 H2O / IPA / TEOS / SICL4
  更多的液体源汽化信息请与公司联系
*大汽化量（气体流量） H2O : 10g/min (12.4 SLM)
  IPA ： 30g/min (11.1 SLM）
  TEOS : 50g/min（5.3 SLM）
  SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM）
 

液体源汽化系统

HORIBA的液体源汽化系统包括三种不同类型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加热式。我们的产品严格遵守半导体市场不断更新的要求。我们利用**监测/汽化原理制作产品，比如压差监测法或HORIBA更早前开发的应用于液体流量计的冷却法，以及螺旋式的混合注入系统。我们多种不同的汽化系统以及流量控制器可提供您多种不同的选择方式。
HORIBA还拥有高精度、高速数字流量响应的液体流量控制器和液体流量计。

HORIBA对于以下几种液体材料有着丰富的经验

Acetic Acid Benzene B(OCH3)3 BTBAS C6F6
Cyclohexane Decyl-TMOS DPM DPMS Ethanol
Ge(OCH3)4 GeCl4 H2O HCD HDFDA
HMDS HMDSO i-Octane IPA Me-Cyclohexane
Methanol n-Octane OMCTS OMTS P(OCH3)3
PO(OCH3)3 SAM24 Si(CH3)4 Si(OCH3)4 SiCH3Cl3
SiCl4 SiH(OCH3)3 SiHCl3 Ta(OC2H5)5 TBTDETa
TDEAHf TDEAT TDMAS TDMAT TEB
TEMAHf TEMAZr TEOS TEPO THF
Ti(O-iPr)4 TiCl4 TMCTS Toluene 1,3-DMA
 
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