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  • 产品名称：VC1310 非载气直接注入式液体汽化器

  • 产品型号：
  • 产品厂商：日本HORIBA
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简单介绍：
HORIBA的液体源汽化系统包括三种不同类型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加热式。我们的产品严格遵守半导体市场不断更新的要求。我们利用监测/汽化原理制作产品，比如压差监测法或HORIBA更早前开发的应用于液体流量计的冷却法，以及螺旋式的混合注入系统。我们多种不同的汽化系统以及流量控制器可提供您多种不同的选择方式。 HORIBA还拥有高精度、高速数字流量响应的液体流量控制器和液体流量计。 HORIBA对于以下几种液体材料有着丰富的经验
详情介绍：

商品详情

Horiba 直接注入式液体汽化器VC1310

非载气，5scmm

概要

 由于是无载体类型，所以可以构筑小型气化系统
由于通过质量流量来测定发生量，所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。

特征

  • 超小型 ： 只有原来的1/5
  • 高速完全气化 ： 可以瞬间完全气化被供应的液体。
  • 安装固定方向自由 ：无论在哪一个安装固定方向，都可以保持相应功能。
  • 不需要气泡式容器、气化容器
 

規格

VC-1310
产生流量 (TEOS发生时) 小于1.0 CCM (液相的换算) ※1
对象液体种类 会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外
可升温温度 上限值 150℃
接气部材质 SUS-316L (PTFE)
耐压 1.0MPa(G)
 
VC-1310
产生流量 (TEOS发生时) 上限值5.0 CCM不到 (液相的换算) ※1
对象液体种类 会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外
可升温温度 上限值 150℃
接气部材质 SUS-316L (PTFE)
耐压 1.0MPa(G)
※1　不同的液体种类将会有所差异。请进行咨询协商。
 
 液体源汽化系统
HORIBA的液体源汽化系统包括三种不同类型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加热式。我们的产品严格遵守半导体市场不断更新的要求。我们利用监测/汽化原理制作产品，比如压差监测法或HORIBA更早前开发的应用于液体流量计的冷却法，以及螺旋式的混合注入系统。我们多种不同的汽化系统以及流量控制器可提供您多种不同的选择方式。
HORIBA还拥有高精度、高速数字流量响应的液体流量控制器和液体流量计。

HORIBA对于以下几种液体材料有着丰富的经验

Acetic Acid Benzene B(OCH3)3 BTBAS C6F6
Cyclohexane Decyl-TMOS DPM DPMS Ethanol
Ge(OCH3)4 GeCl4 H2O HCD HDFDA
HMDS HMDSO i-Octane IPA Me-Cyclohexane
Methanol n-Octane OMCTS OMTS P(OCH3)3
PO(OCH3)3 SAM24 Si(CH3)4 Si(OCH3)4 SiCH3Cl3
SiCl4 SiH(OCH3)3 SiHCl3 Ta(OC2H5)5 TBTDETa
TDEAHf TDEAT TDMAS TDMAT TEB
TEMAHf TEMAZr TEOS TEPO THF
Ti(O-iPr)4 TiCl4 TMCTS Toluene 1,3-DMA
 
 
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