该PECVD系统炉在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能，该炉底部安装了一对滑轨，可手动滑动。采用双层壳体结构。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的**。加热和冷却速率*大可达100°C/min。为取得*快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得*快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S，是低成本快速热处理的理想炉。
PECVD系统炉技术参数：
1.温控方式：智能化30段可编程控制 2.*高温度：1200℃ 3.电压：220V
4.额定温度：1150℃ 5.热电偶：K型 6.加热段长：400mm
7.加热元件：瑞典Kanthal-A1电阻丝
8.升温速率：≤20℃/min 推荐升温速率：≤10℃/min
9.真空法兰和接头：详细参数请转看第31页
10.质量流量计：详细参数请转看第31页
11.射频电源：详细参数请转看第31页
型号
TL1200-H-PE-I
TL1200-H-PE-II
TL1200-H-PE-III
炉管尺寸
Φ60X1800
Φ80X1800
Φ100X1800
功率(KW)
2.5
3.5