电子工业用高纯气体北京盖斯化工气体中心

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产品名称：电子工业用高纯气体
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气体种类规格杂质含量(ppm)
C2F6 99.999% ScottGas: N2〈4ppm; O2〈1ppm; THC〈1ppm; CO〈1ppm; CO2〈1ppm; H2O〈1ppm; Acidity〈0.1ppmw
99.99% ScottGas: N2〈40ppm; O2〈10ppm; THC〈5ppm; CO〈5ppm; CO2〈5ppm; H2O〈10ppm; 酸性物〈0.1ppmw硅氧烷〈5ppm; 氯硅烷〈0.2ppm;
99.96% CO〈5.0; H2O〈5.0; N2〈250; CO2〈5.0; HCl〈0.1; O2〈100;
C2HF5 99.99% ScottGas: N2〈65ppm; O2〈15ppm;H2O〈10ppm; 酸性物〈0.1ppmw
C2H2F4 99.95% ScottGas: N2〈10ppm; O2〈10ppm; N2〈40ppm; 酸性物〈0.1ppmw
C3F8 99.96% ScottGas: H2O〈75ppm; CO〈20ppm; CO2〈17ppm; N2+O2〈30ppm; 酸性物〈0.1ppmw
C4F8 99.998% ScottGas: N2〈8ppm; O2〈2ppm; H2O〈3ppm; Tetrafluoromethane〈1ppm; 酸性物〈0.5ppm
99.995% ScottGas: N2〈24ppm; O2〈6ppm; H2O〈10ppm; Tetrafluoromethane〈10ppm
99.9% ScottGas: N2〈750ppm; O2〈150ppm; H2O〈80ppm;
CH4 99.999% ScottGas: N2〈7ppm; O2〈0.5ppm; CO2〈1ppm; H2O〈1ppm; Propane〈0.5ppm; Ar〈0.5ppm
99.99% ScottGas: N2〈85ppm; O2〈0.5ppm; CO2〈1ppm; H2O〈1ppm; 丙烷〈1ppm; Ar〈0.5ppm
NO 99.9995% ScottGas: O2〈1ppm; CO2〈1ppm; THC〈1ppm; H2〈1ppm; H2O〈1ppm
99.6%
99.0%
H2 99.9996% Ar〈1.0; CO2〈0.5; N2O〈0.1; THC〈0.1; H2O〈0.2; O2〈0.5;CO〈1.0; N2〈1.0;
HBr 99.998% CH4〈5.0; CO2〈5.0; N〈2.0; CO〈1.0; H2O〈1.0; O2+Ar〈2.0
99.8%
HCl 〉99.999 CH4〈1.0; CO〈1.0; CO2〈2.0; Fe〈0.5; H2O〈1.0; N2〈2.0;O2+Ar〈1.0; 其它金属〈1.0
99.997 CH4〈2.0; CO〈1.0; CO2〈5.0; H2O〈2.0; N2〈10.0; O2+Ar〈4.0
NF3 99.99% ScottGas: Tefluoromethane〈50ppm; N2〈2ppm; O2〈2.5ppm; CO2〈2ppm; H2O〈0.25ppm; Hydrogen Fluoride〈1.5%; Sulfur Hexafluoride〈20ppm; NO〈3ppm
〉99.9% CF4〈700; H2O〈1; O2+Ar〈50; CO〈10; N2〈50; SF6〈50;CO2〈10; N2O〈10; 总F〈0.3
99.5% CF4〈1500; H2O〈1; O2+Ar〈700; CO〈10; N2〈50; SF6〈50;CO2〈25; N2O〈25; 总F〈0.3
HF 99.9%
N2 99.9996% THC〈0.5; H2〈0.1; O2〈1.0; CO〈1.0; H2O〈0.5; CO2〈0.5; N2O〈0.1

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