KYKY-EM6900扫描电镜主要参数
1.电子光学系统
(1)电子枪:发叉结构钨丝阴极;
(2)分辨率:二次电子像分辨率优于 3.0nm(30KV);
(3)放大倍率:8×~300,000×;
(4)加速电压:0 V~30kV,连续可调;
(5)自动功能包括:自动电子枪加热、自动对中、自动加束流、自动加偏压、自动聚焦&消像散、自动象散记忆、自动对比度、自动亮度,实现一键看像功能,自动故障检测、自动校正等;
2.样品室和样品台
(1)样品台:五轴高精密样品台。
X移动方向不低于80mm,Y轴移动方向不低于60mm,Z轴移动方向不低于50mm,倾斜范围为-5°~ +90° ,旋转方向为 360°;
(2)可放置样品尺寸:直径110mm;
3.真空系统
涡轮分子泵和机械泵,可保持设备长期高的分辨;