自动显定影机,采用进口旋转马达,通过精准定位系统,辅以皮带传送,实现显影的自动显定影。旋转速度达6000rpm,无故障加工片数多达10000片以上。自动显影具有加工速度快,显影效果好,节省显影液等特点。设备具有操作简单,维护量小等特点。
适用范围广:适用3-6寸芯片 显定影喷头控制**:≤0.2mm 旋转速度控制**:*高转速6000rpm,加速度可在0-5000rpm/sec范围内调节,转速 精准度≤1-4% 涂布均匀性好:片内≤0.04μm,片间≤0.08μm 设备可靠性高:MWBF(平均故障间隔)≥10000片