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  • 产品名称:10KW半导体制程Dummy Load

  • 产品型号:8931-230
  • 产品厂商:Bird
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简单介绍:
10KW半导体制程Dummy Load为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态,现代等离子体应用需要优良的RF功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
详情介绍:

10KW半导体制程Dummy Load

Termination Load 精密负载为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态,现代等离子体应用需要**的RF功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。

10KW半导体制程Dummy Load提供超稳定,低VSWR 的,针对发射机输出功率配合BIRD 精密功率传感器进行快速精确测量的负载。当运作在额定区域时,Dummy Load 负载VSWR 的总变化范围能够保持在0.1dB以内。

负载针对不同时间长度校准,重复性优良且无需预热。这样能够极大减小该项校准的误差,控制一个更关键的过程变量稳定。

 


选型列表

型号

功率等级

频率范围

冷却方式

预设接口

重量(kg)

8890-320

5kW

DC-2.4GHz

230VAC 风扇冷却

QC  LC(f)接口

33kg

8921

5kW

DC-1GHz

自然冷却

QC  LC(f)接口

57kg

8931-230

10kW

DC-1GHz

230VAC 风扇冷却

QC  LC(f)接口

65kg

8921SC13

5kW

DC-28MHz

*13.56MHz

自然冷却

QC  LC(f)接口

57kg

8931-230SC13

10kW

DC-28MHz

*13.56MHz

230VAC 风扇冷却

QC  LC(f)接口

65kg

8941-230SC13

15kW

DC-28MHz

*13.56MHz

230VAC 风扇冷却

QC  DIN(f)接口

107kg





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