产品名称：高低温真空探针台 晶圆芯片高低温测试

产品参数

腔体

01.样品台尺寸：CGO-2/CGO-4

02.观察窗口：2英寸/4英寸

03.制冷方式：液氮 、液氦/制冷机

04.控制方式：开循环手动/闭循环自动控制

05.温度范围：77K~450K、4.5K~450K/4.5K~450K

06.真空度：10-6 torr

07.探针臂接口：顶多6个探针臂接口

08.样品固定：弹簧压片

09.其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

10.温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

11.稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

显微镜

01.X-Y-Z移动行程：50mmx25mmx13mm

02.结构：外置探针臂，真空波纹管结构

03.移动精度：10μm/ 1μm

04.光源：外置LED环形光源/同轴光源

05.CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

探针座

01.X-Y-Z移动行程：50mmx25mmx13mm

02.结构：外置探针臂，真空波纹管结构

03.移动精度：10μm/ 1μm

探针夹具

01.线缆：同轴线/三轴线/射频线

02.漏电精度：10 PA/ 100fA/ 10fA

03.固定探针：弹簧固定/螺丝固定

04.接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口

探针

01.射频支持：DC-67GHZ

02.针尖直径：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm/50μm/100μm

03.材质：钨钢/铍铜

04.真空组件：分子泵组/机械泵
05.冷源组件：50L/100L液氮罐/液氨罐/制冷机
06.外形重量：730mmx750mmx1265mm(长宽高)   约100kg

防震桌参数

01.防震桌类型：气浮隔振防震桌/阻尼隔振防震桌

02.隔振方式：空气弹簧隔振/复合材料隔振
03.材质：不锈钢 / 碳钢
04.平面度：0.05mm/m2
05.粗糙度：＜0.8μm

06.孔距：25×25mm
07.孔径：M6
08.平台尺寸(长宽)：可定制
09.平台厚度：50 / 100 / 200mm
10.固有频率：1.5Hz - 2Hz/6Hz - 8Hz
11.支撑腿：气浮支撑腿/阻尼支撑腿
12.支撑腿数量个：4个/6个
13.支撑腿高度：800mm±10mm
14.其他：内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制