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产品参数
01.腔体：高真空腔体
02.样品台尺寸：4英寸
03.样品固定：弹簧压片
04.观察窗口：6英寸
05.观察窗口材质：蓝宝石（保证紫外光的透光性）
06.真空度：2帕
07.探针臂接口：4个探针臂接口
08.电学测试接口：3同轴BNC*4、2同轴BNC*2\高压接口10KV*1
09.辅助接口：真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2
10.制冷方式：液氮
11.温度范围：-196℃~600℃
12.温控精度：±0.1℃
13.稳定性：-196℃-常温±0.5℃、常温-600℃±0.2℃
14.外形：650mm长*650mm宽*460mm高
15.重量：约100千克
光学系统
01.显微镜类型：单筒显微镜
02.放大倍率：20X-180X
03.移动行程： X轴行程100MM Y轴行程50MM Z轴行程50mm
04.光源：外置LED环形光源
05.CCD：2800万像素
06.显示器：10寸LED
探针臂
01.X-Y-Z移动行程：20mm*20mm*20mm
02.结构：外置探针臂，真空波纹管结构
03.移动精度：10微米
探针组件
01.线缆：同轴线
02.接头类型：SMA
03.漏电精度：10fA
04.固定探针：夹紧固定
05.频率支持：DC-67GHZ
06.针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高压组件
01.线缆：高压电缆10KV
02.接头类型：香蕉头
其他组件
01.真空组件：机械泵
02.冷源组件：10L液氮罐
