日本SHINKO伸兴除尘干式超声波清洗设备西南代理

ミクロの限界を超えた除塵能力 UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure ／ Vacuum ／Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用（特許取得）したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。 特長・効果 ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100％除去可能です。 ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換がなくランニングコストがかかりません。 非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷を与えません。 クローズドループシステム採用で、クリーンルーム内の層流を乱すことなく使用できます。 除塵テスト及びその結果 社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。 1.6μmの微粒子を100％除去しています。（吐出空気圧力（P圧）14kpa） テスト条件 ●基材：液晶用ガラス基板（320mm×400mm） ●粉塵： ①1.6μmスペーサビーズ（ドライ散布） ②ガラス片異物 ●吐出空気圧力：14kpa ●基材とのギャップ：約1.5mm ●搬送速度：100mm／sec. ●評価方法：光学顕微鏡写真

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