▼ 除塵テスト及びその結果
▼ 3ミクロンビーズ**散布
社内クリーンルーム(クラス100)内でのテスト結果です。
テスト条件
●基材: 液晶用ガラス基板 ●粉塵: 3μmスペーサビーズ(ドライ散布) ●吐出空気圧力: 0.25Mpa ●基材とのギャップ: 13.5mm ●評価方法: 表面検査装置(GI-4600)
粤公网安备 51012402000291号