作为300毫米晶圆FOUP的自动清洗装置，我们改变了UPC - 12100的型号，取得了世界**的成就和信任。它以现代半导体制造不可或缺的高品质，高产量和节能的理念得到改进。它符合UL和CE标准以及SEMI标准。自动传输系统（AMHS）兼容，与GEM 300兼容的通信协议，适用于在线管理。 请务必考虑世界上***别的FOUP清洁设备。
●高通量 ●足迹设计 ●节能 ●全自动FOUP开放的交叉污染预防由 超精密用●2流体喷射清洗系统清洗 ●高效率的干燥系统 ●SEMI通信标准GEM300对应 ●高交付 ●SEMI S2， S8，符合CE标准
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