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产品资料

重庆内藤供应HUGLE藤宫全自动EUV POD清洁系统REN

重庆内藤供应HUGLE藤宫全自动EUV POD清洁系统REN
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：重庆内藤供应HUGLE藤宫全自动EUV POD清洁系统REN
  • 产品型号：全自动EUV POD清洁系统REN
  • 产品展商：HUGLE藤宫
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
重庆内藤供应HUGLE藤宫全自动EUV POD清洁系统REN 重庆内藤机械设备有限公司 重庆内藤供应HUGLE藤宫全自动EUV POD清洁系统REN
产品描述

全自动EUV POD清洁系统REN

它是用于EUV暴露的EUV POD的全自动清洁装置，这是新的曝光技术。除了拆卸/重新组装内部POD和外部POD之外，每个POD都使用单独的专用CH进行清洁/干燥。
完全无人值守的操作也是可能的。
采用独特的清洁/干燥技术实现纳米级颗粒去除30年，作为半导体设备容器清洁设备制造商。

产品概述

-足迹设计
，专有清洗技术通过超精密清洗
和高效的干燥系统完全干燥实现通过
，全自动POD开放的交叉污染预防由
-RSP200兼容
机器人手自清洁系统内置
-独立专用室**

规范
装置主体：1230（宽）×2900（深）×2300（高）毫米（不包括突起）

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