KAIJO楷捷_超声波精密清洗

ＵＳシャワー（両面対応）超音波洗浄機

ＬＣＤ・ウェーハ基板の枚葉洗浄
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構造がシンプルで洗浄効率が高い
■特徴

●従来のＵＳシャワーに比べ、約５倍の超音波強度（当社比）が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。
●枚葉式ＬＣＤ洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能。
●0.2μｍ以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
●高周波（９５０ｋＨｚ）で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。

メガソニックＵＳシャワースペック

＊上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。

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