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产品资料

KAIJO楷捷_超声波精密清洗机

KAIJO楷捷_超声波精密清洗机
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:KAIJO楷捷_超声波精密清洗机
  • 产品型号:78BK30-660
  • 产品展商:KAIJO凯捷
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
产品描述

产品描述:

KAIJO楷捷_78BK30-660_超声波精密清洗机

USシャワー(両面対応)超音波洗浄機

LCD・ウェーハ基板の枚葉洗浄
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構造がシンプルで洗浄効率が高い
■特徴

●従来のUSシャワーに比べ、約5倍の超音波強度(当社比)が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。
●枚葉式LCD洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能。
●0.2μm以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
●高周波(950kHz)で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。

メガソニックUSシャワースペック



項目 仕様
型名 6879BK 7979BK 78BK30-660
許容入力 600W 900W 1200W
公称共振周波数 950kHz
有効洗浄寸法 330mm 495mm 660mm
所用水量 20~25㍑/分 20~30㍑/分 40~45㍑/分
ケース材質 SUS316L
振動板材質 SUS316L
接液部 複合電解研磨処理
*高使用温度 70℃
コード長 振動子用:5M2本 振動子用:5M3本 振動子用:5M4本
センサー用:5M1本 センサー用:5M1本 センサー用:5M2本
保護回路 液面センサー(テフロン)
FU93(キーエンス)
重量 5㎏ 6㎏ 7㎏

*上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。


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