ATV1000 [Throttle Valve]
ATV1000 Throttle Valve
ATV1000 (Throttle Valve)는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데 사용된다.
또한 넓은 범위의 압력을 조절할수 있도록 제작 되었다.
ATV1000 (Throttle Valve)는 GPC3000 (Auto Pressure Controller)와 호환하여 사용 하도록 설계 되어 있다.
Features & Benefits
■ ATV1000 (Throttle Valve)는 High Speed Motor를 장착하여 Set-Point의 도달하는 시간을 현저히 줄여 귀사의 장비의 Throughput을 향상시키도록 디자인 되어 있다.
■ ATV1000 (Throttle Valve)는 귀사에서 제공하는 GPC3000 Controller와 연결하여 사용이 가능하며, 기타 타 회사 제품의 Controller도 연결하여 사용할수 있다.
■ ATV1000 (Throttle Valve)는 Flapper의 Position을 User가 외부에서도 확인이 가능하도록 Case에 표시 하여, Valve의 동작여부를 장비에서 탈 착하지 않아도 확인 가능하게 설계되어 있다.
■ ATV1000 (Throttle Valve)의 Flang Style은 일반적으로 ISO-NW를 사용하지만 고객의 요구에 따라 CF, ASA, JIS 로도 가능하게 설계되어 있다.
Product
Specifications
Speed (open to close)
1.5sec
Resolution
1/24000
Drive Method
Direct gear drive
Maximum Valve Body Operating Temperature
Standard 0-100
Optional : 0 - 150 (Note 1)
Valve Motor Ambient
Operating Temperature
-20 to +40
Differential Pressure
Across Valve
1 atm. (15psig) max.
External Leakage at Shaft seal
1x10-8sec/sec He
Materials Exposed to Process
Standard : 304 S.S., Viton (Note 2)
Optional :316 S.S., Viton (Note 2)
Compatible Controller
Model GPC3000
MKS Type 651, 1651
Drive Output Torque
(with Model GPC3000 or MKS Type 651)
800 in-oz
Closed Leakage
(valves with a flapper o-ring)
<10-7(Torr l/s)>
Flange Styles:
ISO-NW
ASA
CF
JIS
KF
Notes:
1. Consists with shaft seal and flapper seal o-ring material.
2. Where Vition is used, other materials are available.
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