761 [Capacitance Manometers]
761 Capacitance Manometers
일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 전공 Chamber내에 압력을 읽어내는 게이지이며, 보통±12~30 VDC의 파워를 필요로 하고 0~10VDC 시그널의 출력을 가지는 Capacitance Manometer 는 반도체공정 및 진공 장비에 사용됩니다.
Features & Benefits
■ 실제 Vacuum Chamber내에 Total Pressure를 간접측정 방식으로 Pressure를 측정
■ Vacuum Chamber내에 Gas의 종류에 따라 영향을 받지 않는다.
■ 오염물질에 강한 소재를 사용하여 어느 진공게이지 보다 Life Time을 향상 정밀도가 높아 Process용으로 사용된다.
■ 761은 ATOVAC Power Supply & Readout 장치와 연결해 쉽게 사용이 가능하다.
Product
Specifications
Pressure ranges (mmHg Full Scale)
1
Useable measurement range
1 x 10(-4) F.S
Accuracy
(non-linearity, hysteresis, and non-repeatability)
±0.5% of Reading
±0.25% of Reading (Opt)
Temperature Coefficients
Zero
Spen
15 to +40°C
< ± 0.02% FS/50 °C
< ± 0.04% Rdg/50°C
Ambient operating temperature range
5°C to 50°C
Materials exposed to gases
Inconel
Volume (Px side)
5.0cc
Overpressure limit without damage
45 psia (310 kpa)
Input Required
+12~30 VDC
Output
0 to + 10VDC into ≥ 10K Ω load
Fittings
8 VCR female, 4 VCR female
NW16KF, NW25KF
Agency Compliance
CE, RoHS Compliant