变送器(CERAVAC,THERMOVAC,PENNINGVAC和IONIVAC)直接集成到真空系统,显示和操作单元可选,传感器不能单独显示和操作
冷阴极电离真空规通过测量气体离化形成的离子电流来测量压强,以离子电流为输出为信号,与压强成正比。该类型的真空规借助磁铁延长电子的运行轨迹提高离化率,保持低压时的稳定测量。