激光化学开封机NSC IC开见证PL201配备光纤激光器，与传统式固体激光器比照，激光/化学开封机它具有更低的直接成本和更长的使用期。
从钝化到层间膜
气体流量、真空条件、射频匹配由系统自动控制。该系统操作简单，只需选择配方并按下启动按钮即可启动刻蚀。
射频发生器、真空控制系统和温度控制单元已经升级，以提高蚀刻稳定性和可重复性。
ES403可以刻蚀高达8英寸的晶圆片，以及使用可选适配器的小型设备，如IC包。ES403提供稳定和**的蚀刻，其高性能真空系统由涡轮分子泵、质量流量控制器和蝶阀控制。