日本FLUORO福乐防静电型真空镊子

广泛兼容

它可以处理广泛的应用，从包括硅晶圆在内的各种晶圆到小型物体的吸附和运输。

根据运输物品更换

根据要运输的物品，可以将其替换为晶圆吸附头、喷嘴或垫。

可供选择的材料

根据应用，您可以选择各种导电和耐化学腐蚀的类型。

设计时考虑到工人的需求

它重量轻，易于清洁，即使长时间使用也能保持稳定的性能。

关于真空镊子001、002、003、007的区别

根据阀门开闭方式的不同，存在差异。请看下面的操作图。

单击插图的按钮部分将更改状态。通过单击镊子部分可以打开/关闭吸力切断按钮。

• C系列真空镊子主体采用碳纤维填充尼龙树脂制成，具有优异的物理性能和导电性。此外，内部阀门部分采用氟树脂，周围结构采用特殊成型方法覆盖碳纤维，不会损害气密性。因此，与传统的F系列一样，该阀门可以轻松打开和关闭。
• 连接到主机后部的尼龙连接器由比电阻值10的6次方±2控制。
• 吸附头采用导电PEEK树脂材料制成，具有优异的耐化学性、耐热性和韧性，经过机械加工、热处理和镜面精加工，确保长期使用时保持性能稳定。
• 吸附芯片有多种尺寸，并且可以从多种尺寸中进行选择以适应每种晶圆尺寸。
• Φ3×5和Φ4×6管尺寸均可使用。

C系列代码表示示例