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产品资料

日本FLUORO福乐 非接触式伯努利卡盘

日本FLUORO福乐 非接触式伯努利卡盘
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：日本FLUORO福乐 非接触式伯努利卡盘
  • 产品型号：BC-K8
  • 产品展商：日本FLUORO福乐
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
主体可选择20度、45度、90度三种手柄角度
产品描述

用于非接触式晶圆传送的伯努利卡盘 BC 系列的特点

  • 主体可选择20度、45度、90度三种手柄角度，水平使用的BC-K系列兼容2英寸至12英寸尺寸。
    （使用角度为固定角度，不更换主机就无法改变使用角度。）
  • 导向挡块具有轻微的锥度，因此它与晶圆边缘有一点接触。
  • 由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视定位并确认吸力状态。
  • 主体采用导电尼龙树脂制成，以减轻重量。
  • 它的两面都印有图案，可以处理难以处理的 50 µm 薄晶圆。
  • 我们还接受定制设计的产品，例如适合目标物体的矩形形状。

用于非接触式晶圆传输的伯努利卡盘 BC 系列的特点 产品图片 2

由于伯努利卡盘使用高压，出于考虑，我们建议您将按钮朝下使用。（请参阅左图。）









材料
主体：导电 MC 尼龙
导向环：抗静电聚碳酸酯
配件
导电管6×4（1.5m）
使用角度
20°/45°/90°



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