在无尘室内使用HFE（氢氟醚）进行真空超声波洗涤后，真空包装。
※）当使用流体为水时，请务必遵守以下规则。
使用水时，请把波动压力控制在*大压力范围以下。
可使用未混入杂质或污染物的日本国内自来水。使用其他的水时，请事先进行实机测评确认。
使用水时，请务必使用插入环（WR）。