影像式椭圆仪: Axometrics的影像式椭圆仪分为基础(ISR-1)与进阶版(EllipsoStep),解决光谱椭偏仪的量测限制,将光谱椭偏仪与显微镜结合。
共同特色:
特点:
应用: 影像式椭圆仪用于检测制造半导体(semiconductors)、有机发光二极管(OLED)、发光二极管(LED)、液晶显示器(LCD)、触摸屏(touchscreens)、太阳能电池(solar cells)的薄膜,包含:
光学分辨率将依所选择的镜头倍率而改变,使用者可依量测需求来选择。
在镜头成像下的范围内,可自由选择区块进行分析。