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产品资料

美国AXOMETRICS艾克松 / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式椭圆仪

美国AXOMETRICS艾克松 / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式椭圆仪
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:美国AXOMETRICS艾克松 / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式椭圆仪
  • 产品型号:ISR-1/EllipsoStep
  • 产品展商:美国axometrics艾克松
  • 产品文档:
     AxoScan and AxoStep - 新簡報(CN)
简单介绍
共同特色: 使用旋转式PSCA系统搭配16位CCD相机 同一时间量测影像中的每一点位 每波长仅2.4秒 波长范围介于 250至1,000nm间 可选择欲使用镜头倍率 特点: 小区域的在线扫描 薄膜厚度的2D影像
产品描述
设备介绍

影像式椭圆仪:
Axometrics的影像式椭圆仪分为基础(ISR-1)与进阶版(EllipsoStep),解决光谱椭偏仪的量测限制,将光谱椭偏仪与显微镜结合。

 

 

 

ISR-1 EllipsoStep
Lower system cost
使用程度 简易 进阶
同时对焦FOV下的全景像
*小量测膜厚区域 1 μm x 1 μm 1 μm x 1 μm
已知折射率的简易膜层量测
未知折射率的膜层量测
多层结构量测
20 nm – 10,000 nm厚度的膜层量测
极薄膜量测(0 nm – 20 nm)
NK 值量测
Focus Stage 手动 自动
震动要求等级 VC-B VC-A

 

共同特色:

  • 使用旋转式PSCA系统搭配16位CCD相机
  • 同一时间量测影像中的每一点位
  • 每波长仅2.4秒
  • 波长范围介于 250至1,000nm间
  • 可选择欲使用镜头倍率

特点:

  • 小区域的在线扫描
  • 薄膜厚度的2D影像

应用:
影像式椭圆仪用于检测制造半导体(semiconductors)、有机发光二极管(OLED)、发光二极管(LED)、液晶显示器(LCD)、触摸屏(touchscreens)、太阳能电池(solar cells)的薄膜,包含:

  • 硅Silicon (a-Si, p-Si)
  • 二氧化硅SiO2
  • 氮化硅SiNx
  • 有机薄膜Organic layers

光学分辨率将依所选择的镜头倍率而改变,使用者可依量测需求来选择。

在镜头成像下的范围内,可自由选择区块进行分析。

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